中國團隊第三代半導(dǎo)體研發(fā)實現(xiàn)新突破-成功故事-儀器儀表資訊-阿儀網(wǎng)

您的位置：首頁>儀器儀表資訊>成功故事>中國團隊第三代半導(dǎo)體研發(fā)實現(xiàn)新突破

近日，松山湖材料實驗室第三代半導(dǎo)體團隊與西安電子科技大學(xué)郝躍院士課題組張進成教授、李祥東教授團隊，以及廣東致能科技有限公司聯(lián)合攻關(guān)，成功基于2~6英寸AlN單晶復(fù)合襯底制備了高性能GaNHEMTs晶圓。

得益于AlN單晶復(fù)合襯底的材料優(yōu)勢 (位錯密度居于2×108 cm-2數(shù)量級)，AlGaN緩沖層厚度降至350 nm，外延成本大幅下降，且有效控制晶圓翹曲。

研究發(fā)現(xiàn)，AlN單晶復(fù)合襯底表面存在的Si、O雜質(zhì)會造成寄生漏電通道，使得HEMTs器件無法正常關(guān)斷。團隊據(jù)此創(chuàng)新提出二次生長AlN埋層方法覆蓋雜質(zhì)層，使其在超寬禁帶材料中無法離化，從而顯著抑制漏電。

實驗結(jié)果顯示，團隊所提出的350 nm無摻雜超薄AlGaN緩沖層的橫向擊穿電壓輕松突破10 kV，HEMTs器件關(guān)態(tài)耐壓超8 kV，動態(tài)電流崩塌＜20%，閾值電壓漂移＜10%，初步通過可靠性評估。

微信號：ayiwangapp17

（來源：全球半導(dǎo)體觀察）

標簽：半導(dǎo)體，器件

中山大學(xué)先進能源學(xué)院質(zhì)譜儀采購項目公開招標公告發(fā)布時間：2025/6/16 10:38:20: 項目概況中山大學(xué)先進能源學(xué)院質(zhì)譜儀采購項目招標項目的潛在投標人應(yīng)在中山大學(xué)智能電子采購系統(tǒng)（https://www.zhizhengyun.com）獲取招標文件，并于2025年07月04日 09點3

粵全域推進“無廢城市”建設(shè) 計劃2035年實現(xiàn)全域建成發(fā)布時間：2025/6/16 10:09:38: 據(jù)廣東省生態(tài)環(huán)境廳13日消息，《廣東省全域"無廢城市"建設(shè)工作方案》(簡稱《方案》)現(xiàn)已印發(fā)，系統(tǒng)謀劃全域"無廢城市"建設(shè)工作，推動固體廢物減量化、資源化、無害

我國孵化器發(fā)展和統(tǒng)籌管理進入新階段發(fā)布時間：2025/6/16 10:07:12: 近日，工業(yè)和信息化部印發(fā)《工業(yè)和信息化部科技型企業(yè)孵化器管理辦法》（以下簡稱《管理辦法》），推動孵化器在促進科技成果轉(zhuǎn)化、孵化和產(chǎn)業(yè)化，做優(yōu)企業(yè)增量，促進高質(zhì)量就業(yè)，推動科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新融合，培育和

全市推廣！寧波推進食用農(nóng)產(chǎn)品原產(chǎn)地賦碼發(fā)布時間：2025/6/16 9:54:08: 6月10日，寧波市食用農(nóng)產(chǎn)品原產(chǎn)地賦碼工作推進會在鎮(zhèn)海區(qū)舉行，旨在凝聚多方合力，以原產(chǎn)地賦碼為核心，打造“數(shù)字賦能+全鏈追溯+產(chǎn)銷協(xié)同”模型，推動實現(xiàn)特色食用農(nóng)產(chǎn)品源頭規(guī)范管理、風(fēng)險精準

劍指高端儀器創(chuàng)新，全國首個區(qū)級科學(xué)儀器專項計劃出爐發(fā)布時間：2025/6/16 9:43:53: 6月14日，在2025年全國大學(xué)生科學(xué)儀器創(chuàng)新大賽啟動儀式上，海淀區(qū)發(fā)布《海淀區(qū)科學(xué)儀器先鋒領(lǐng)航行動計劃（2025-2027年）》（以下簡稱《行動計劃》），這也是全國范圍內(nèi)首個區(qū)級行政單位出臺的科學(xué)儀

一批重要國家標準發(fā)布，涉及安全生產(chǎn)、高新技術(shù)等方面發(fā)布時間：2025/6/16 9:29:31: 近日，市場監(jiān)管總局(國家標準委)批準發(fā)布一批重要國家標準，涉及交通運輸、農(nóng)業(yè)農(nóng)村、安全生產(chǎn)、高新技術(shù)等行業(yè)領(lǐng)域，將在推動經(jīng)濟社會高質(zhì)量發(fā)展、統(tǒng)籌發(fā)展和安全等方面發(fā)揮重要作用。